奧林巴斯測量顯微鏡STM7具有多功能性，可以提供高性能的、三軸亞微米級精度的零件、電子元件的測量。無論樣品大或小，簡單或復雜，初學者或使用熟練者進行測量，奧林巴斯STM7系列，可以配置滿足您需要的測量顯微鏡。

奧林巴斯測量顯微鏡STM7具有優良的多用途性，能夠以亞微米精度實現對零部件和電氣組件的高性能三軸測量。無論待測樣品是大的還是小的，測量內容是簡單的還是復雜的，測量人員是新手還是專家，奧林巴斯STM7系列就是能滿足您需求、為您量身打造的測量顯微鏡產品。

STM7 通過整合光學顯微鏡和測量能力實現精確測量 

多年的顯微鏡開發經驗成就了優異的觀察性能

STM7系列采用了當前光學顯微鏡中所使用的UIS2無限遠校正光學系統。因此，觀察到的圖像具有高分辨率和高對比度，此外，像差也被消除，以確保實現對微小細節的高精度測量。 
 

明場圖像

暗場圖像

微分干涉圖像

偏光圖像

花崗巖精雕細琢而成的載物臺基座增強了測量的可靠性

STM7-LF FEM 分析

為了進一步保證測量精度，STM7系列采用了一個配備花崗巖基座的高度耐用和防振動的鏡架。由于花崗巖的高穩定性，使測量可到達亞微米水平，同時確保大程度地降低誤差。

作為高度測量的先鋒，繼續提供簡單易操作的高精度3軸測量

主動反射，共聚焦自動聚焦系統光路

隨著現代制造技術日益小型化和精密化，高精度測量也日趨重要——不僅是XY軸平面的測量，而且Z軸方向的高精度測量也成為必須。奧林巴斯成為成功開發了測量顯微鏡用采用主動反射、共聚焦方法的自動聚焦系統的公司，以此響應了這種與日俱增的需求。

嚴格的可追溯系統確保品質可靠

測量顯微鏡溯源系統

奧林巴斯通過一個嚴格的可追溯系統控制測量顯微鏡的精確度。 并且在安裝系統時奧林巴斯也提供了可追溯的校準服務。

STM7在設計上非常重視易用性 

提供適合您樣品尺寸的載物臺

常見問題

短測量行程無法滿足較大樣品的測量需求。 
 

目前為止，大型載物臺在X軸方向提供了足夠的測量行程，但是Y軸的行程仍然較小。在測量過程中需要通過旋轉樣品來補償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程，這樣的做法費事費時，效率不高。 
 

由于可測量的范圍窄，無法將數量較多的樣品排列在載物臺上，以實現一次性同時測量。

STM7解決方案

共有四種正方形測量行程的載物臺可供選用(50 mm x 50 mm, 100 mm x 100?mm, 200 mm x 200 mm, 和300 mm x 300 mm)。 不管是大的樣品還是小的樣品，總有一款載物臺會適合您要測量的樣品。 
 

采用離合器系統可以在粗調和微調之間實現快速切換。具備了這種切換功能之后，載物臺也可以沿著X軸和Y軸方向迅速移動，并且可以在XY平面上自由穿梭。 
 

300 mm長的方形載物臺在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測量行程，這意味著可以不旋轉樣品就實現大型樣品的全部測量，比如300 mm的晶圓和印刷電路板。 
 

STM7-CS50 
50mm x 50mm

STM7-CS100 
100mm x 100mm

STM7-CS200 
200 mm x 200 mm

STM7-CS300 
300 mm x 300 mm